河南實(shí)驗(yàn)室凈化工程無塵車間的等級(jí)劃分主要依據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的,一定空間內(nèi)空氣中懸浮粒子的數(shù)量和大小等指標(biāo)來確定,常見的等級(jí)劃分及應(yīng)用如下:
ISO 14644-1標(biāo)準(zhǔn)
ISO 1級(jí):這是高等級(jí)的無塵環(huán)境,每立方米空氣中大于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量不超過10個(gè)。該等級(jí)的無塵車間主要用于對(duì)環(huán)境要求極為苛刻的半導(dǎo)體芯片晶圓制造、高精度集成電路生產(chǎn)等領(lǐng)域,如一些半導(dǎo)體制造工藝,生產(chǎn)小于10納米制程的芯片等,需要極其嚴(yán)格的河南實(shí)驗(yàn)室凈化工程無塵條件以防止微粒對(duì)微小電路結(jié)構(gòu)造成影響.
ISO 2級(jí):每立方米空氣中大于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量不超過100個(gè),適用于對(duì)潔凈度要求極高的生物技術(shù)、醫(yī)藥研發(fā)、精密儀器制造等行業(yè),比如某些高純度藥品的研發(fā)和生產(chǎn),以及高端光學(xué)儀器的制造等。
ISO 3級(jí):每立方米空氣中大于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量不超過1000個(gè),可用于制造超大規(guī)模集成電路、航天航空精密部件等,像飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)葉片的生產(chǎn)等,這些部件對(duì)精度和可靠性要求極高,微小的塵埃顆粒都可能導(dǎo)致嚴(yán)重的質(zhì)量問題.
ISO 4級(jí):每立方米空氣中大于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量不超過10,000個(gè),常用于生物醫(yī)藥、醫(yī)療器械制造等領(lǐng)域,例如生產(chǎn)一些植入人體的醫(yī)療器械,如心臟起搏器等,需要嚴(yán)格控制塵埃粒子數(shù)量以確保產(chǎn)品的安全性和可靠性.
ISO 5級(jí):每立方米空氣中大于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量不超過100,000個(gè),常見于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝、電子行業(yè)的高精度產(chǎn)品生產(chǎn)等,比如藥品的無菌灌裝、高端電子產(chǎn)品的組裝等,能有效防止塵埃和微生物對(duì)產(chǎn)品的污染.
ISO 6級(jí):每立方米空氣中大于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量不超過1,000,000個(gè),適用于一般的電子元器件制造、食品飲料的無菌包裝等,如普通電子芯片的生產(chǎn)、飲料的無菌灌裝生產(chǎn)線等.
ISO 7級(jí):每立方米空氣中大于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量不超過10,000,000個(gè),可用于光學(xué)產(chǎn)品制造、小型精密機(jī)械加工等,比如一些普通光學(xué)鏡片的研磨、小型精密零件的加工等.
ISO 8級(jí):每立方米空氣中大于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量不超過100,000,000個(gè),常用于對(duì)潔凈度要求相對(duì)較低的工業(yè)領(lǐng)域,如一般的機(jī)械制造、塑料制品生產(chǎn)等.
ISO 9級(jí):這是低等級(jí),每立方米空氣中大于0.1微米的塵埃粒子數(shù)量不超過1,000,000,000個(gè),適用于一些對(duì)河南實(shí)驗(yàn)室凈化工程潔凈度要求不高的場(chǎng)所,如普通倉庫、辦公室等.
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